掃描電子顯微鏡
發布時間：
2019-09-24 13:33
【介紹說明】
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種通過用聚焦電子束掃描表面產生樣品的圖像的電子顯微鏡。電子與樣品中的原子相互作用，產生包含樣品表面形貌和組成信息的各種信號。以光柵掃描圖案掃描電子束，并將光束的位置與檢測到的信號組合以產生圖像。SEM可以達到1納米以上的分辨率，已經廣泛應用于材料分析和失效分析領域。
【優點】
放大倍率高；超高分辨率；景深大；保真度好；試樣制備簡單，分析速度快、不損壞試樣。
【結構組成】
電子光學系統；偏轉系統；信號收集檢測、放大系統；圖像顯示、記錄系統；真空系統和電源系統。
【應用】
試樣三維形貌的觀察和分析；試樣微區的成分分析；材料斷口的分析；直接觀察試樣的原始表面；觀察試樣的各個區域的細節；試樣動態觀察；廣泛應用于冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等領域。
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